Hierarchical multi-level block copolymer patterns by multiple self-assembly

Author

Jung, H.; Shin, W. H.; Park, T. W.; Choi, Y. J.; Yoon, Y. J.; Park, S. H.; Lim, J. H.; Kwon, J. D.; Lee, J. W; Kwon, S. H.; Seong, G. H.; Kim, W. H.; Park, W. I.

Journal

Nanoscale

Status

2019

Vol

11

Page

8433-8441